• Kostengünstig in der Beschaffung
• Keine Entwicklung von schädlichem Ozon
• Keine Vorwärmzeit
• Hohe Lebensdauer der UV-LED's (10'000 Std. +)
• Geringer Intensitätsabfall (5% in 10'000 Std.)
• Kein thermischer Einfluss auf die Folie
• Kompakte und robuste Tischkonstruktion
• Kurze Installations- und Einführungszeit
• Kostengünstig im Unterhalt
• Entspricht den IEC 204-1 Sicherheitsnormen
• Produktivität 130-180 Wafer/Std.

Optionen:

• Stickstoffdusche
• Reinraumtauglicher Arbeitstisch mit 
  Stauraum auf Rollen und Feststellfüssen